什么是电感式测微仪,它又有哪些技术指标
什么是电感式测微仪,它又有哪些技术指标
计量校准电感式测微仪是描述物体机械运动状态的位移、速度、力、振动等物理量通 常成为机械量,对这些物理量的检测通常采用相应的传感器进行,如位移传感器、速度传感器、加速传感器和振动传感等。
在机械量检测中,对位移、速度和里的检测是常见的。
电感式测微仪能快速准确测量微小尺寸变量,适 用于自动化测量或实验室内高精度对比测量,能够 完成各种精密测量。
电感式测微仪也还检查工件的厚度、内径、外径、椭圆度、平行度、直线度、径向跳动等,被广泛应用于精密机械制造业、晶体管和集成电路制造业以及国防、科研、计量部门的精密长度测量。
目前,国内常用的电感测微仪有指针式和数字式两种,存在的问题较多,如高精度测量范围小,零位调节不方便、功能单一和通用性差等。
它通过编制软件实现仪表的高精度、智能化、多功能化,计量校准经过反复的实验与使用,已证明其精度高、操作方便、性能稳定。
技术指标:
⑴测量范围:0~±30µm档及0~±500µm档;
⑵示值误差:0~土30µm档为0.1µm,0~±500µm档为1µm;
⑶分辨率:0~±30µm档为0.01µm,0~±500m档为0.1µm.
⑷极性:当测量值为负时,自动显示"-";为正时,无极性符号。
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