测控技术与仪器专业说明
测控技术与仪器专业说明
测控技术与仪器是研究信息的获取和处理,以及对相关要素进行控制的理论与技术;是电子、光学、精密机械、计算机、信息与控制技术多学科互相渗透而形成的一门高新技术密集型综合学科。
(1)以自然基准溯源和传递,同时在不同量程实现国际比对。如果自己没有能力比对就要依靠其它国家计量校准。
(2)高精度。目前半导体工艺的典型线宽为0.25mm,并正向0.18mm过渡,2009年的预测线宽是0.07mm。如果定位要求占线宽的1/3,那么就要求10nm量级的精度,而且晶片尺寸还在增大,达到300mm。这就意味着测量定位系统的精度要优于3×10的-8次方,相应的激光稳频精度应该是10的-9次方数量级。
(3)高速度。目前加工机械的速度已经提高到1m/sec以上,上世纪80年代以前开发研制的仪器已不适应市场的需求。例如惠普公司的干涉仪市场大部分被英国Renishaw所占领,其原因是后者的速度达到了1m/sec。
(4)高灵敏,高分辨,小型化。如将光谱仪集成到一块电路板上。
(5)标准化。通讯接口过去常用GPIB,RS232,目前有可能成为替代物的高性能标准是USB、IEEE1394和VXI。现在,技术领先者设法控制技术标准,参与标准制订是仪器开发的基础研究工作之一。
仪器是指用以检出、测量、观察、计算各物理量、物质成分、压力表物性参数等的器具或设备。真空检漏仪、压力表、测长仪、显微镜、乘法器等均属于仪器仪表。广义来说,仪器仪表也可具有自动控制、报警、信号传递和数据处理等功能。
仪器仪表能改善、扩展或补充人的官能。计量校准人们用感觉器官去视、听、尝、摸外部事物,而显微镜、望远镜、声级计、酸度计、高温计等仪器仪表可改善和扩展人的这些官能。另外,有些仪器仪表如磁强计、射线计数计等可感受到的物理量。还有些仪器仪表可以超过人的能力去记录、计算和计数,如高速照相机、计算机等。
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