间接测量的函数误差  采用间接测量时，需按一定的函数关系计算测量误差。

测量力引起的误差  采用接触测量时，为了保证可靠的接触，必须给测头施加一定的测量力。测量力将使被测工件和测量器具的零部件产生弹性变形或其它状态的变化（如间隙、摩擦等状态之变化），引起测量误差一般测量中此项误差可以忽略，但在精密测量或对小尺寸、软材料测量时，应予以分析、估算并在必要时加心修正。接触测量中压陷量的计算公式。

仪器校准定位安装方法误差  由被测工件测量基面的选定及其安装方式所造成的误差称为定们安装方法误差当所选择测量基面与设计基面或工艺基面不重合时，会产生定位方法误差若测量基面选择正确，则由于安装方式的不同，也会产生不同的测量误差例如，测量轴径时，若将工件置于平台上就存在素线形状误差的影响，而安装在小球台上，并在摆中测量，就不存在安装方式

基准的体现方法有模拟法、直接法、分析法和目标法等四种。

1.模拟法  以具有足够形状和位置精度的表面体现基准平面、仪器校准基准轴线和基准点。多基准用模拟法体现时，要注意基准的顺序及基准建立的原则。

模拟法是一种常用的体现基准备的方法。当实际基准要素五花八门误差较小，又能与模拟基闪实现稳定接触时，可以获得较高的精度。若基准要素的尺寸较大，模拟基准的制造和使用都比较困难就不宜采用模拟法。

2.直接法  当实际基准要素具有足够的形状和位置精度时，可直接作为基准。例如，用两点法测量两平行平面之间的局部实际尺寸，以确定被测表面对基准平面的平行度误差；测量圆心至两基准边对就点之间的距离，以确定被测圆心的位置度误差。

直接法比较方便，但基测量结果受实际基准要素的形位误差的影响较大。

3.分析法  对实际基准要素进行测量后，根据测得数据，用图角或计算的方法确定基准的位置。

分析法比较麻烦。多在测量精度要求较高，或为分析工艺过程时采用。

4.目标法  当设计图样规定用基准目标建立基准时，可按图样标注的要求，在规定的位置上、按规定的尺寸和形状，以适当形式的支承来体现基准。点目标可用球端支承体现，线目标可用刀口支承或圆柱支承的互线体现，面目标可用与图样规定的形状和尺寸相应的平面支承体现。