光干涉仪器使用前的调整

使用计量检测前的调整

干涉显微镜调整的主要目的，是使目镜视场中呈现反映被测表面粗糙度的清晰干涉条纹，以便测量。

各种类型的仪器使用调整不尽相同，详细参看相应的使用说明书．外校计量下面以常用的双光束干涉显微镜为例，介绍调整步骤：

(1)调节光源，使目镜视场照明均匀。调整目镜视度，使视场中分划板刻线清晰。

(2)将被测表面置于物镜的上方。仪器校验用遮光板挡住参考镜一路的光束，对被测件表面调焦'直至视场中出现清晰的加工纹路的显微图像。

(3)将遮光板从参考光路中移开，长度计量校准实验室视场中应出现干涉条纹。若不出现干涉条纹，仪器检测检定一般是由于参考镜光路未调好'造成两路光的光程不相等，应对参考光路的物镜调焦。

(4)检测调整干涉条纹的方向，使其与被测表面加工纹路垂直，并调整干涉条纹的宽度以5mm～lOmm为宜。