干涉法测量Rz长度参数
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[在线咨询] 时间:2021-05-21
[在线咨询] 时间:2021-05-21干涉法测量Rz长度参数
(1)确定取样长度干涉显微镜的视场范围各类型之间有所不同，一般为0.25mm或0.32mmo当被测表面Rz值≥0.025pLm-,0.5PLm时，取样长度为0.08mm或0.25mm．仪器校正测量可在一个视场内测量当尺z值≥0.51um-0.8rum时，计量外校时，取样长度为0.8mm，需要移动工作台，在3个连续的视场里测量。
(2)确定评定长度评定长度应包含5个连续的取样长度，可视被测表面的情况测多于5个或少于5个取样长度。
计量校准每一取样长度内测算出一个Rz值，外校检测仪器时再取平均值作为该评定长度内的Rz值。
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