仪器校准丝杠动态测量仪

仪器校准丝杠动态测量仪如图10 -29所示。基于丝杠螺旋线生成的原理，以激光波长作为长度计量标准，圆光栅作为角度计量标准，He - Ne激光的光波波长作为测量座沿丝杠轴向移动的长度计量标准，由稳频器来保持激光器的工作波长稳定。仪器尾部的干涉箱为长度测量的干涉测量系统。仪器头部的主轴箱中，有圆光栅盘和定位测头、无级调速控制器和传动装置。测量时，被测丝杠串在仪器主轴上，仪器主轴上的圆光栅给出与丝杠同步转动的角位移莫尔条纹数。此时，丝杠转动带动测量座作轴向位移，当被测丝杠转动一周，圆光栅也转一周，测量座上测量棱镜位移一个螺距。通过测量座上测量棱镜位移，由干涉箱给出位移的干涉条纹。测量时被测丝杠是连续转动的，圆光栅和激光干涉仪连续给出莫尔条纹和干涉条纹，这两信号经过接受、放大、整形与分频后进行相位比较，丝杠的螺旋线误差就是这两信号的相位差。