微纳米的超精密测量技术是代表性的研究领域
微纳米的超精密测量技术是代表性的研究领域
基于这一模型理论,对测试功能虚拟控件进行多次、深度集成制造便可由上述模型演变成为一个"有界无限"、包含大量测试仪器并可实际使用的复杂、巨型虚拟测试仪器库。这是一个复杂的功能测试系统,同时也是一个开放的系统。对于他已有的资源可以立即满足测试的要求,他还没有的资源可以很快地在模型内自动生成或开发,从而可以继续满足任何新的测试需求。
通过这一模型的建立,将使传统仪器的"单机"概念消失,代之而起的是经多次、深度集成制造而成的大型"仪器库"。在将来的测试仪器中,仪器库将成为测试测量所使用的仪器"单位",而同一行业的只需使用这一仪器"单位"便可满足其全部测试要求。
计量校正微/纳米技术迅速发展 微/纳米技术作为当前发展迅速,研究广泛、投入多的科学技术之一,被认为是当前科技发展的重要前沿。在该科技中,微/纳米的超精密测量技术是代表性的研究领域,也是微/纳米科技得以发展的前提和基础。
仪器校验在微/纳测量领域,基础问题包括纳米计量、纳米测量系统理论与设计、微观形貌测量等方面,主要研究问题和方向为:基于扫描电子显微镜的精密纳米计量、微纳坐标测量机(分子测量机)、基于干涉的非接触微观形貌测量、基于原子晶格作刻度的X 射线干涉测量及其与光学干涉仪的组合原理、纳米测量系统设计理论和微纳尺寸测量条件的研究等。
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