涉及的重要工程测量问题

涉及的重要工程测量问题有：面向MEMS 和MOEMS 的微尺度测量、面向22 nm～45 nm极大规模集成电路制造的测量等。

3.5 发展超大尺寸测量和超大型设备

超大尺寸测量的主要任务是获取与评价大型和超大型装备与系统制造过程中机械特性和物理特性等信息，分析各影响制造性能的要素与机理，为提升制造能力与水平提供科学依据。

仪器维修在超大尺寸测量领域内的、共性基础问题包括距离测量原理、超大尺寸空间坐标测量、超大尺寸测量的现场溯源原理与方法。代表性研究方向和重要测量问题，如：大尺寸、高速跟踪坐标测量系统；车间范围空间定位系统（WPS）；

仪器校验GPS 在超大机械系统中的应用关键技术；数字造船中结构尺寸、容积测量；飞机制造中形状尺寸测量；超大型电站装备和重机装备制造中的测量；面向大型尖端装备制造的超精密测量等。

3.6 大力发展基准、标准技术

基准标准技术是测试计量技术水平的高表现形式，是发展超精密制造的前提和保障，也是引导促进先进加工和测量技术发展的技术基础。基准标准技术滞后将严重制约精密制造和装备制造业的发展。

尤其是，在过去的10年中超精加工技术的提高使得工业界可以制造以前难以想象的微小和形状复杂的工件，表面粗糙度正在达到原子级尺度，并可由像原子力显微镜等这样复杂的显微镜来进行测量。但是相应的标准还没有制定，需要制定新的纳米尺度上表面粗糙度和公差测量标准作为新的纳米测量基础。